ホーム - 製品情報 - アダマンタン誘導体

フォトレジストの原料として重要である。アダマンタンは高い耐熱性、透明性、耐薬品性、潤滑性などの特異な性質を有するため様々な用途での利用が試みられてきた。特に ArF エキシマレーザーリソグラフィーのフォトレジスト材料として用いると、高い性能を示すことから、１，３‐アダマンタンジオールなどのアダマンタン誘導体から合成される感光性樹脂の需要が拡大している。